深圳市泰道精密機(jī)電有限公司
ShenZhen Tech-D Precision Automation Co.Ltd
具有良好的直線度及平面度
直接驅(qū)動,無背隙及齒槽效應(yīng),高響應(yīng)及平滑性表現(xiàn)
光柵尺分辨率可選0.5um,0.1um,20nm或5nm
高剛性的龍門結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
有效行程400mm by 250mm
性能特點(diǎn):
具有良好的直線度及平面度
直接驅(qū)動,無背隙及齒槽效應(yīng),高響應(yīng)及平滑性表現(xiàn)
光柵尺分辨率可選0.5um,0.1um,20nm或5nm
高剛性的龍門結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
有效行程400mm by 250mm
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